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發(fā)展真空技術(shù)，varian真空分子泵*，助力半導(dǎo)體行業(yè)我國(guó)是世界大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng)，varian真空分子泵原理，但產(chǎn)業(yè)鏈整體價(jià)值水平較低，尤其是關(guān)鍵材料與設(shè)備和零部件方面，存在較大國(guó)外品牌依賴。例如，薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵工藝過程部件——磁懸浮分子泵，varian真空分子泵用途，長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷。凡使用我司提供的真空泵耗材，正常使用過程中，在保用期內(nèi)出現(xiàn)任何質(zhì)量問題我司將對(duì)其*更換。面對(duì)“卡脖子”問題，中科科儀積*響應(yīng)國(guó)家需求，承擔(dān)科技部《*大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專項(xiàng)中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，于2011年成功研制國(guó)內(nèi)第i一臺(tái)磁懸浮分子泵，打*國(guó)外產(chǎn)品壟斷。varian真空分子泵
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