伯東 KRI 考夫曼霍爾離子源 eH 3000
因產(chǎn)品配置不同,價格貨期需要電議,圖片僅供參考,一切以實際成交合同為準。
無論是何種膜系結(jié)構(gòu), 玻璃基片表面的清潔程度和表面狀態(tài)將直接影響所鍍膜層的質(zhì)量, 如薄膜的附著力/ 粗糙度以及薄膜的物理性能與機械強度.
但在放置和傳輸過程中會對玻璃基片表面難以避免地出現(xiàn)不明污染物, 失去 "新鮮表面" 形成鈍化層, 甚至可視痕跡. 對于低輻射玻璃而言, 在瑕疵處生長的銀膜會在后續(xù)鋼化及熱彎過程中形成團聚, 導(dǎo)致透光性能與低輻射性能嚴重惡化, 鍍膜產(chǎn)品報廢,降低成品率.
因此, 國內(nèi)某玻璃制造商采用伯東 在玻璃基片傳輸后/ 鍍前進行在線基片表面處理工序.
gridless eh 3000 技術(shù)參數(shù):
型號
cathode/neutralizer
hc
電壓
50-250v
電流
20a
散射角度
>45
可充氣體
ar, o2, n2, h2, organic precursors, others
氣體流量
5-100sccm
高度
6.0“
直徑
9.7“
水冷
可選
f = filament; hc = hollow cathode; xo2 = optimized for o2 current
該制造商采用 krigridless eh 3000離子源解離 ar 氣體,轟擊玻璃表面,對玻璃基片表面進行清洗和刻蝕.
理由:
設(shè)備穩(wěn)定,抗污染能力強,可以進行基片表面清洗與輔助沉積, krigridless eh 3000 對玻璃基片表面有效去除二次污染/ 增加基片表面能/ 控制基片表面粗糙度.
運行結(jié)果:
krigridless eh 3000能有效去除二次污染, 對玻璃基片有效清洗清洗和刻蝕, 獲得更清潔/ 平滑的玻璃基片表面 提高了所鍍膜層的質(zhì)量,提高薄膜的附著力, 改善薄膜粗糙度以及薄膜的物理性能與機械強度 降低了鍍膜產(chǎn)品報廢,提高了成品率
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