豐熱科技有限公司(多圖)-武漢豐派等離子技術(shù)

湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），*制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
離子滲碳后工件的硬度、疲勞強(qiáng)度、*性等力學(xué)性能比采用傳統(tǒng)滲碳方法所得力學(xué)性能都高，而且滲碳速度快，特別是對(duì)狹小縫隙和小孔能進(jìn)行均勻的滲碳，滲碳層表面碳含量和滲層深度容易控制，工件不易氧化，表面潔凈，耗電量低，*。
湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），*制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
磁控靶的陰*接靶電源負(fù)*，陽(yáng)*接靶電源正*，進(jìn)入正常濺射時(shí)，武漢豐派等離子技術(shù)，一定是在氣體放電伏-安特性曲線中的“異常輝光放電區(qū)段”?運(yùn)行。其特點(diǎn)是，隨著調(diào)節(jié)電源輸出的磁控靶工作電壓的增加，濺射電流也應(yīng)同步緩慢上升
湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），*制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產(chǎn)生打弧的幾率更低并優(yōu)于雙*性矩形波中頻靶電源。更適合于對(duì)薄膜表面和膜層質(zhì)量要求較高的濺射工藝。一般來(lái)說(shuō)，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個(gè)數(shù)量級(jí)的氣體壓強(qiáng)狀態(tài)下進(jìn)行(例如，1.0×1-2pa)。
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