潔凈廠房設(shè)計規(guī)范
潔凈廠房設(shè)計規(guī)范
空氣潔凈度等級
*2.0.1條 空氣潔凈度應(yīng)按表2.0.1規(guī)定劃分為四個等級。
空氣潔凈度 表2.0.1
┌────┬──────────┬─────────┐
│等級 │每立方米(每升)空氣│每立方米(每升)空│
│ │中≥0.5微米塵粒數(shù) │氣中≥5微米塵粒數(shù) │
├────┼──────────┼─────────┤
│100級 │≤35×100(3.5) │ │
├────┼──────────┼─────────┤
│1000級 │≤35×1000(35) │≤250(0.25) │
├────┼──────────┼─────────┤
│10000級│≤35×10000(350) │≤2500(2.5) │
├────┼──────────┼─────────┤
│100000級│≤35×100000(3500)│≤5000(25) │
└────┴──────────┴─────────┘
注: 對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計數(shù),應(yīng)進(jìn)行多次采
樣,當(dāng)其多次出現(xiàn)時,方可認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的.
*2.0.2條 潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗,應(yīng)以動態(tài)條件下測試的塵粒
數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試,應(yīng)符合附錄二規(guī)定。
遠(yuǎn)程在線環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)、塵埃粒子計數(shù)器、浮游菌采樣器、風(fēng)量儀、過濾器檢漏、泄壓閥(壓縮空氣質(zhì)量檢測儀)、氣流流行檢測儀(煙霧發(fā)生器)、氣溶膠發(fā)生器、氣溶膠光度計、溫濕度壓差測試儀,臭氧濃度儀、風(fēng)速儀、聲級計、照度計、壓差表(計)等
吳江經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)蘇源智控儀器儀表貿(mào)易商行專注于塵埃粒子計數(shù)器,浮游細(xì)菌采樣器,風(fēng)量儀等