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隔膜前室壓差控制器兼容的測量介質(zhì)有哪些?
前段時間有位客戶問到能與隔膜前室壓差控制器兼容的測量介質(zhì)有哪些?為了方便各位新老客戶更為鮮明地了解這一問題,小編我今天在這里特別做了一下總結(jié),主要分為以下兩種:一、完全兼容的介質(zhì):醋酸、酒精、、氫氧化鋁、*鋁、氨水、氫氧化氨、啤酒,葡萄酒,威士忌、血液、苯、*、鈣、氣體、碳酸飲料、(干燥的)、咖啡,牛奶、氮化銀、氯化鈉、、、*油、醚類、聚、氮化鐵、燃油,、甘油、、、亞麻油、,、(<65%)、油類、蔬菜汁/無機物、、污水、皂類、尿酸、鋁。二、基本滿足兼容條件的介質(zhì):氫氧化鈣 (50%沸騰)、、氯乙酰、鉻、含氯的水、磷酸(沸騰的)、海水。
德州匯恒除了壓電傳感器之外,還有利用壓阻效應制造出來的壓阻傳感器,利用應變效應的應變式傳感器等,這些不同的壓力傳感器利用不同的效應和不同的材料,在不同的場合能夠發(fā)揮它們的用途。靜電容量型壓力傳感器,前室壓差控制器,是將玻璃的固定*和硅的可對而成電容,除了壓電傳感器之外,還有利用壓阻效應制造出來的壓阻傳感器,利用應變效應的應變式傳感器等,這些不同的壓力傳感器利用不同的效應和不同的材料,在不同的場合能夠發(fā)揮它們的用途。
此外,與單晶硅壓阻相比,多晶硅壓阻膜可以在不同的材料襯底上制作,如在介電體(sio2、si3n4)上。其制備過程與常規(guī)半導體工藝兼容,電梯前室壓差控制器,且無pn結(jié)隔離問題,因而適合更高工作溫度(t≥200℃)場合使用。在相同工作溫度下,多晶硅壓阻膜與單晶硅壓阻膜相比,可更有效地*溫度*移,有利于長期穩(wěn)定性的實現(xiàn)。多晶硅電阻膜的準確阻值可以通過光刻手段獲得。 綜上所述,多晶硅膜具有較寬的工作溫度范圍(-60~ 300℃),可調(diào)的電阻率特性、可調(diào)的溫度系數(shù)、較高的應變靈敏系數(shù)及能達到準確調(diào)整阻值的特點。所以在研制微傳感器和微執(zhí)行器時,利用多晶硅膜這些電學特性,加工定制前室壓差控制器,有時比只用單晶硅更有價值。例如,利用機械性能優(yōu)異的單晶硅制作感壓膜片,在其上覆蓋一層介質(zhì)膜sio2,再在sio2上淀積一層多晶硅壓阻膜。這種混合結(jié)構的微型前室壓差控制器,前室壓差控制器作用,發(fā)揮了單晶硅和多晶硅材料各自的優(yōu)勢,其工作高溫至少可達200℃,甚至300℃;低溫為-60℃。
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