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HatPlant 電鏡磁場消除系統(tǒng)(主動消磁器)

產(chǎn)品背景:
當(dāng)今的電子束相關(guān)的設(shè)備對變化的環(huán)境磁場非常敏感,比如離子束3d打印設(shè)備、電子顯微鏡、半導(dǎo)體光刻機(jī)、等離子切割機(jī)。當(dāng)環(huán)境磁場發(fā)生變化時(shí),電鏡中的電子束會偏轉(zhuǎn),從而導(dǎo)致打印歪曲偏離、電子顯微鏡分辨率下降和圖像失真。hsr2ix系列磁場消除系統(tǒng)通過動態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場來穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周圍的環(huán)境磁場,改善各種電子束、離子束設(shè)備周圍惡劣的磁場環(huán)境,保障設(shè)備使用的磁場環(huán)境要求。
產(chǎn)品介紹:
hsr2ix系列磁場消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元、磁場發(fā)生單元、磁場控制單元、顯控單元等構(gòu)成。綜合了低噪聲磁敏感技術(shù)、消磁線圈優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)、磁場自動控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)了對寬頻帶雜散磁場的自動跟蹤補(bǔ)償,達(dá)到穩(wěn)定磁場的目的。根據(jù)具體用途,hsr2ix系列磁場消除系統(tǒng)具有三種不同型號:hsr2i01、hsr2i02和hsr2i03。(特殊情況可定制)
工作原理:
磁場消除系統(tǒng)主要由磁傳感器感知單元、磁場發(fā)生單元、磁場控制單元、顯控單元等構(gòu)成等幾部分組成。
通過三分量磁場傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場的感知,并將感知到的信號送入智能磁場控制單元;智能磁場控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號,該電流通過磁場產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場,在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場環(huán)境。
典型應(yīng)用:
1. 生命科學(xué)領(lǐng)域的冷凍電鏡
2. 材料科學(xué)領(lǐng)域的掃描電鏡
3. 化工領(lǐng)域中的原理分析用電鏡
4. 半導(dǎo)體工藝中的缺陷分析用電鏡
5. 納米制造領(lǐng)域的加工精度保證

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