RCA清洗機(jī)

1）采用典型、普遍的濕式化學(xué)清洗方法，使硅片清洗更徹底
2)適用于多種規(guī)格尺寸硅片的清洗
3）在線式甩干，保證清洗的潔凈度
4）全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配、補(bǔ)液，保證了操作的安全穩(wěn)定性
5）高速移載機(jī)械手，伺服驅(qū)動(dòng)控制，保證運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠
6)采用國(guó)際知名電氣元件