福州大學(xué)離子束刻蝕機順利驗收

烈日炎炎，熱情滿心間！后疫情時代，nano-master工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設(shè)備安裝調(diào)試服務(wù)。首站福州大學(xué)，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗收nie-3500型離子束刻蝕機！
性能配置：
離子束刻蝕機用于刻蝕金屬和介質(zhì)，z大可支持6”晶圓。
配套美國考夫曼-羅賓遜 kdc160離子槍，650ma，100-1200v?？涛g速率：~250a/min對au；刻蝕均勻度：對4”片，片內(nèi)均勻性**±3%，重復(fù)性**±3%。
樣品臺可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-30rpm精確可控；可任意角度傾斜，支持斜齒刻蝕；帶水冷功能，刻蝕后易去除光刻膠。
極限真空12小時可達6x10-7torr，15分鐘可達10-6torr量級的真空；采用雙真空計，長期可靠，使用穩(wěn)定。
14”不銹鋼立方腔體，配套一臺主控計算機，20”觸摸屏監(jiān)控，配合labview軟件，實現(xiàn)計算機全自動工藝控制，并可在電源中斷情況下安全恢復(fù)；完全的安全聯(lián)鎖；支持百級**凈間使用。
驗收培訓(xùn)：
安裝調(diào)試視頻：
那諾-馬斯特中國有限公司專注于磁控濺射系統(tǒng),刻蝕系統(tǒng),清洗去膠系統(tǒng)等