智庭科技TMC-3207自動測量金相顯微鏡工具顯微鏡廠家直發(fā)

一.儀器主機(jī)說明
tmc-3207是我司針對半導(dǎo)體行業(yè)推出的一款高性能的全自動測量金相顯微鏡，結(jié)合公司多年影像測量和掃描的生產(chǎn)經(jīng)驗，以及自主研發(fā)的三維測量掃描軟件，將設(shè)備的高性能、全自動的特點發(fā)揮到**。
l支持自動對焦、搖桿操作以及非接觸式光譜共焦位移傳感器測量（選配）。
l軟件具有強(qiáng)大的元素構(gòu)造、多元測量（自動尋邊、對比測量、局部放大采點）等諸多功能。
l伺服馬達(dá)驅(qū)動，電機(jī)響應(yīng)速度快。
l全閉環(huán)運動控制，具有**的高速運動定位性能。
l精簡化儀器與計算機(jī)接口。
l000級花崗石平臺，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，抗振性強(qiáng)。
l多種光源配合：程控表面led面光源、底部光源及蛇管輔助光源。
l配有專用的三維測量軟件，具有教導(dǎo)功能，可大幅提高測量效率。
l高品質(zhì)滾珠驅(qū)動螺桿與滑軌，機(jī)械性能佳。
l500萬像素高清晰數(shù)字?jǐn)z像機(jī)和金相鏡頭，保證**的成像質(zhì)量。
l5x、10x、20x物鏡切換，*大倍率接近1000倍，成像效果**，既可細(xì)微觀察亦可高精度測量。
二、技術(shù)參數(shù)
掃描范圍
xyz三軸移動范圍（mm）
300*200*70
外形尺寸（mm）
900*644*1600
玻璃臺面尺寸（mm）
375*275
臺面承重（kg）
25
儀器凈重（kg）
240
光學(xué)影像及測量系統(tǒng)
光學(xué)系統(tǒng)
無限遠(yuǎn)平場消色差金相顯微光學(xué)模組（3目）
金相顯微物鏡倍率
5x
10x
20x
視頻總放大倍率
241.5x
483x
966x
雙目目鏡倍率
標(biāo)配10x目鏡（視場數(shù)φ22mm），也可選配20x目鏡
物方工作距離(mm)
26.1
20.2
8.8
物方視場(mm)
1.47*0.98
0.735*0.49
0.368*0.245
照明光源
上光：led同軸落射冷光源（程控調(diào)光）
底光：led平行冷光源（程控調(diào)光）
輔光: led光源（程控調(diào)光）
攝像機(jī)
hikvision 500萬像素高清彩色數(shù)字相機(jī)
示值誤差（μm）
單視野
±1
xy行程范圍
2.5+l/200
重復(fù)精度（μm）
單視野
±0.5
xy行程范圍
2.5
xyz光柵分辨力（μm）
1
掃描測量軟件
zt vision-c(擁有自主知識產(chǎn)權(quán))
其他選配件
光譜共焦位移傳感器、激光位移傳感器、自動變倍金相顯微模組、操作搖桿等
xyz三軸驅(qū)動方式
伺服電機(jī)+絲桿導(dǎo)軌驅(qū)動，三軸全閉環(huán)運動控制
電腦
聯(lián)想e95/g3930/4g/1t/集成
工作電源
ac200-240v 50/60hz450w（注：需有電阻≤4ω接地線）
工作環(huán)境
溫度20±2℃,相對濕30%-80%,振動＜0.002g，低于15hz，遠(yuǎn)離振源
三、 軟件介紹
說明：隨著軟件的不斷升級與更新，以下所述功能可能與實際版本略有不同，更多的功能請參照軟件本身或咨詢我公司專業(yè)技術(shù)人員。
影像測量軟件界面簡潔、操作直觀、上手容易、功能強(qiáng)大，用戶可快速高效的完成測量任務(wù)。
1）簡潔友好的界面
將主要及常用的功能以按鈕形式放在主界面，易于熟悉掌握，用戶只要簡單的點擊和拖拽鼠標(biāo)即可完成幾乎所有的測量動作。
2）強(qiáng)大的幾何測量功能
2.1）軟件提供完整的幾何測量功能
可對點、線、圓弧、圓、矩形、橢圓、鍵槽(腰型特征)、開曲線、閉曲線、平面、圓柱、圓錐、球等幾何元素進(jìn)行測量。當(dāng)z軸增加測頭或激光位移傳感器等設(shè)備后還可對3d圖形元素如圓柱、圓錐、圓球以及三維空間內(nèi)的面進(jìn)行測量。根據(jù)元素的實際特征，每種元素可采用多種不同的方法測量。尋邊結(jié)束即可直接獲取元素的坐標(biāo)值、長度、面積、體積等數(shù)據(jù)。
2.2）軟件具備強(qiáng)大的尋邊功能
能夠抓取很弱的邊緣，可任意設(shè)定尋邊方向，避免尋邊錯誤，靈活設(shè)置尋邊參數(shù)，去除雜點及毛邊的影響。
3）自動對焦功能及對焦點測量功能
由軟件自動判定對焦是否*清晰，此功能也可用來測量高度及平面度。
4）方便快捷的應(yīng)對復(fù)雜形狀工件及大批量工件測量
4.1）元素的平移陣列測量
對于等距排列的特征元素，只需人為測量一個元素，即可通過平移陣列功能自動完成所有元素的測量。
4.2）尋邊位置微調(diào)功能
在陣列測量時，由于零件加工存在誤差，實際陣列位置和理論位置會產(chǎn)生偏差，此時會出現(xiàn)尋邊不準(zhǔn)或?qū)み吺〉膯栴}。本軟件通過尋邊位置微調(diào)功能有效的解決了該問題，用戶可設(shè)定軟件自動根據(jù)實際陣列位置來調(diào)整尋邊位置。
4.）工件的陣列及陣列宏測量
當(dāng)測量大批量工件時，只需人為測量一個工件，即可通過工件陣列及陣列宏功能自動完成所有工件的測量。無論單個夾具或者多個夾具都能同時應(yīng)對，大大節(jié)省了時間和提高測量效率。
4.4）導(dǎo)入cad圖形測量功能
可以直接用cad軟件繪制尺寸圖，導(dǎo)入軟件后即可實現(xiàn)自動測量，無需采點尋邊，非常方便對形狀復(fù)雜或不規(guī)則圖形進(jìn)行坐標(biāo)測量和輪廓對比測量。
4.5）對比測量功能
可預(yù)設(shè)刻度線、角度線、標(biāo)準(zhǔn)圓用以對工件進(jìn)行對比測量。也可直接在圖像輪廓上拉出尺寸線或角度線動態(tài)觀察工件長度、角度、臺階高、直徑等尺寸。
4.6）快捷定位局部特征的地圖導(dǎo)航功能
可用軟件控制機(jī)臺將工件整體掃描拼合成為一張圖片，甚至可直接導(dǎo)入拍照獲得的工件圖片，并以該圖片像素點為單位來**定位工件。此功能使機(jī)臺迅速自動定位到任意細(xì)微的局部位置，特別適用于大尺寸工件定位和具有大量類似特征的工件**定位。
5）自動編制用戶程序，且用戶程序編輯簡單靈活
5.1）軟件根據(jù)用戶測量步驟順序自動編制用戶程序，并控制程序的運行停止等。
5.2）可以對用戶程序及每一個步驟進(jìn)行編輯、排序、插入、刪除等操作，適應(yīng)各種復(fù)雜多變的測量步驟。
5.3）測量大批量工件時，只需進(jìn)行一次尋邊測量，避免重復(fù)動作，省時省力。
6）自動計算元素的形位公差
軟件提供完整的公差設(shè)定和計算功能，可設(shè)定和計算形位公差如直線度、圓度、平面度、圓柱度、輪廓度、位置度、平行度、垂直度、同心度、圓跳動等，根據(jù)公差自動判別ok或ng，并具備ng示警及提示功能。形象化的公差圖表使用戶獲知具體超差位置，方便查找超差原因。
7）多樣化的數(shù)據(jù)報表及圖形數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能
軟件支持結(jié)果數(shù)據(jù)以多種報表格式（excel、word、txt、pdf）導(dǎo)出，并支持excel報表格式設(shè)置，可**輸出位置。
7.1）導(dǎo)出excel報表
7.2）excel導(dǎo)出設(shè)置
7.3）導(dǎo)出word及 txt報表
7.4）軟件可導(dǎo)出dxf和igs格式圖形數(shù)據(jù)，并可直接將圖形用于逆向工程
8）豐富開放的外設(shè)連接功能
8.1）支持光譜共焦位移傳感器
8.1.1）簡介
光譜共焦位移傳感器一種精度可達(dá)亞微米量級的非接觸式位移測量系統(tǒng)，對于表面漫反射或鏡反射的物體甚至透明材質(zhì)皆可測量其位移或厚度，基于出光與回傳訊號路徑同軸的特性，它亦適用于深孔、盲孔工件等測量。
8.1.2）原理
8.1.3）應(yīng)用
8.2）支持機(jī)械手等外接設(shè)備，并且能將這些設(shè)備整合在一起
四、服務(wù)承諾
（一）保修期內(nèi)服務(wù)
1．新儀器提供1-2天的培訓(xùn)服務(wù)，保證受訓(xùn)人員熟練使用我司儀器，儀器自驗收合格之日起免費質(zhì)保12個月。
2．在質(zhì)保期內(nèi)因我方原因造成的儀器故障，我司負(fù)責(zé)免費維修及更換零配件。
（二）保修期外服務(wù)
我司承諾對儀器實行終身維修服務(wù)，儀器質(zhì)保期滿后，也能提供及時、優(yōu)質(zhì)、價格優(yōu)惠的技術(shù)服務(wù)和備品供應(yīng)，更換配件只收成本費。
（三）售后服務(wù)響應(yīng)時間
我司采取定期回訪與隨時遠(yuǎn)程咨詢相結(jié)合的售后服務(wù)制度，力求及時發(fā)現(xiàn)并解決客戶使用中的困難和問題，如有必要我司將在接到請求后由專業(yè)工程師2小時響應(yīng)，8小時派專業(yè)工程師赴現(xiàn)場解決問題，7ｘ24小時提供售后服務(wù)支持。
注意: 在拆卸儀器包裝和搬運儀器時必須有我司專業(yè)工程師在場。